導(dǎo)言：
濕電子化學(xué)品屬于精細(xì)化工與電子信息行業(yè)交叉的領(lǐng)域，專業(yè)性強(qiáng)，是典型的技術(shù)密集行業(yè)。也是化學(xué)試劑產(chǎn)品中對品質(zhì)、純度要求最高的細(xì)分領(lǐng)域。
下游顯示面板、半導(dǎo)體、太陽能電池領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步，要求上游濕電子化學(xué)品的產(chǎn)品具備良好的質(zhì)量和品質(zhì)。分離技術(shù)、純化技術(shù)以及與濕電子化學(xué)品生 產(chǎn)相配套的分析檢驗(yàn)技術(shù)、環(huán)境處理與監(jiān)測技術(shù)均為專業(yè)性較強(qiáng)的化工產(chǎn)品生產(chǎn) 技術(shù)。同時，下游應(yīng)用領(lǐng)域生產(chǎn)工藝不同，對濕電子化學(xué)品的要求也不同，定制 化產(chǎn)品快速響應(yīng)、研發(fā)、生產(chǎn)能力也是濕電子化學(xué)品企業(yè)必須具備的條件。上述生產(chǎn)技術(shù)、生產(chǎn)工藝、配方技術(shù)和協(xié)同開發(fā)能力等形成了企業(yè)進(jìn)入濕電子化學(xué)品 行業(yè)的技術(shù)壁壘。濕電子化學(xué)品一般可劃分為通用濕電子化學(xué)品和功能濕電子化學(xué)品，通用濕 電子化學(xué)品指在半導(dǎo)體、顯示面板、太陽能電池等制造工藝中被大量使用的液體 化學(xué)品，一般為單成份、單功能化學(xué)品，例如氫氟酸、硫酸、氫氧化鈉、氫氧化 鉀等。功能濕電子化學(xué)品指通過復(fù)配手段達(dá)到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需 求的復(fù)配類化學(xué)品，例如顯影液、剝離液、蝕刻液、稀釋液、清洗液等。濕電子化學(xué)品具體分類如下：
目前，世界及我國的濕電子化學(xué)品通常執(zhí)行 SEMI 國際標(biāo)準(zhǔn)，其關(guān)鍵技術(shù)指 標(biāo)包括單項(xiàng)金屬雜質(zhì)、非金屬離子、顆粒數(shù)等，另外根據(jù)不同產(chǎn)品特點(diǎn)會相應(yīng)增 加其他一些技術(shù)指標(biāo)。濕電子化學(xué)品 SEMI 國際標(biāo)準(zhǔn)等級如下：
1、顯示面板制造工藝的應(yīng)用
（1）LCD 顯示面板 液晶顯示面板（LCD）在當(dāng)前占據(jù)著主導(dǎo)地位，尤其是在大尺寸面板領(lǐng)域。TFT-LCD 顯示面板系目前最主流的液晶顯示面板。TFT-LCD 顯示面板制造分為 陣列制程（Array Process）、成盒制程（Cell Process）和模組制程（Module Process）三個模塊。TFT-LCD 陣列制程有五大步驟，分別為門電極、絕緣層、 數(shù)據(jù)電極、接觸孔、像素電極制作。每個步驟又能區(qū)分為成膜、涂光阻膠、曝光、 顯影、蝕刻、去光阻膠（剝離）、檢查等流程。
（2）OLED 顯示面板 近年來，OLED 顯示面板發(fā)展迅速，相比于 TFT-LCD 顯示面板，其具有省 電、輕、薄、可彎曲、響應(yīng)時間短等優(yōu)勢，在小尺寸面板領(lǐng)域，OLED 顯示面板 已占據(jù)相當(dāng)一部分市場。OLED 顯示面板制作分背板段、前板段和模組段三道工 藝。背板段的制作與 TFT-LCD 陣列制程基本一致，也是采用光刻技術(shù)在基板上 疊加不同材質(zhì)的膜層，從而形成驅(qū)動電路，并為發(fā)光器件提供點(diǎn)亮信號和穩(wěn)定的 電源輸入。濕電子化學(xué)品在 OLED 顯示面板生產(chǎn)的應(yīng)用與 TFT-LCD 顯示面板基本一致，主 要在清洗、顯影、蝕刻、剝離等流程使用。OLED 顯示面板光刻和蝕刻工藝一般 需要重復(fù)較多次數(shù)，由于在基板上疊加層數(shù)變多，OLED 顯示面板生產(chǎn)工藝對濕 電子化學(xué)品的純度要求和用量需求都有較大幅度的提升。公司核心產(chǎn)品 TMAH 顯影液達(dá)到 SEMI G4 等級，滿足 OLED 顯示面板的生產(chǎn)要求。
2、半導(dǎo)體制造工藝的應(yīng)用
濕電子化學(xué)品在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用，主要集中在集成電路（芯片）和分立器 件晶圓的加工方面，其主要用途為清洗、顯影、蝕刻、剝離幾類。在進(jìn)行芯片制作前，一般要對晶圓的表面進(jìn)行拋光處理。主要步驟為機(jī)械研 磨（使用氧化鋁顆粒）、蝕刻清洗（使用硝酸、醋酸、氫氧化鈉等）、晶圓拋光 （使用硅土粉進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨）和表面清洗（氨水、過氧化氫、去離子水等）。晶圓表面處理后，還將對晶圓進(jìn)行一系列的復(fù)雜工藝，使純粹的硅晶圓變?yōu)?N 型或 P 型硅晶圓。晶圓處理后，芯片制造流程與 TFT-LCD 陣列制程基本相同，均有成膜、涂 膠、曝光、顯影、蝕刻、光刻膠剝離等流程。在圖形轉(zhuǎn)移過程中，一般需要進(jìn)行 十幾次光刻和蝕刻工藝，對濕電子化學(xué)品需求較大。根據(jù) IC 線寬的不同，所需 要的濕電子化學(xué)品等級亦有所差別。IC 線寬越窄，集成度越高，對濕電子化學(xué) 品要求也越高。公司 TMAH 顯影液達(dá)到 SEMI G4 級別，滿足超大規(guī)模集成電路 制作需求。
3、太陽能電池制造工藝的應(yīng)用
在硅太陽能電池制造中，濕電子化學(xué)品主要應(yīng)用于太陽能電池片的制絨、清 洗和蝕刻，上述工藝為太陽能電池片精細(xì)加工的核心工藝。太陽能電池生產(chǎn)對濕 電子化學(xué)品要求相對較低。
行業(yè)發(fā)展情況
1、行業(yè)發(fā)展歷史
（1）國外濕電子化學(xué)品發(fā)展歷史
濕電子化學(xué)品是 20 世紀(jì) 60 年代從高純化學(xué)試劑產(chǎn)品領(lǐng)域發(fā)展起來的。20 世紀(jì) 60 年代末出現(xiàn)用于集成電路制造的電子級專用化學(xué)試劑。此類試劑 一般用于集成電路制造的清洗、蝕刻、摻雜、顯影、晶圓表面處理、去膜、去光 刻膠等工序中。因此，一類新型的高純化學(xué)試劑便產(chǎn)生，業(yè)界將其稱為濕電子化 學(xué)品（又稱超凈高純化學(xué)品）。
1975 年，國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料組織（SEMI）成立了 SEMI 化學(xué)試劑標(biāo)準(zhǔn) 委員會，專門制定濕電子化學(xué)品的國際標(biāo)準(zhǔn)。對世界濕電子化學(xué)品的等級標(biāo)準(zhǔn)做 了統(tǒng)一的規(guī)范。SEMI 標(biāo)準(zhǔn)現(xiàn)已成為世界濕電子化學(xué)品制造業(yè)中通行的、最權(quán)威 的標(biāo)準(zhǔn)。
進(jìn)入 21 世紀(jì)，國際 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)化組織又根據(jù)濕電子化學(xué)品在世界范圍內(nèi)的 實(shí)際發(fā)展情況對原有的分類體系進(jìn)行了歸并，按品種進(jìn)行分類，每個品種歸并為 一個指導(dǎo)性的標(biāo)準(zhǔn)。國際上制備 SEMI G1 至 SEMI G4 級各種不同等級濕電子化 學(xué)品的技術(shù)已趨于成熟。隨著集成電路向著納米級發(fā)展，國際上 SEMI G4 以上 級別的高純試劑生產(chǎn)技術(shù)也日漸成熟。近年來，濕電子化學(xué)品成為了超大規(guī)模集成電路制造業(yè)深入、快速發(fā)展中越 來越不可缺少的、支撐其新技術(shù)發(fā)展重要輔助工藝材料。為此，它也成為電子化學(xué)品中需求量大幅增長、技術(shù)高速發(fā)展的一類產(chǎn)品。同時，隨著顯示面板、太陽 能電池領(lǐng)域的發(fā)展，濕電子化學(xué)品用量進(jìn)一步擴(kuò)大，呈現(xiàn)出極為廣闊的發(fā)展前景。
在世界濕電子化學(xué)品市場上，20 世紀(jì) 90 年代中后期及 21 世紀(jì)初，高端濕 電子化學(xué)品呈現(xiàn)由德、美、日知名企業(yè)壟斷的局面。近幾年，隨著顯示面板、太 陽能電池等濕電子化學(xué)品新市場的開辟及擴(kuò)大，韓國、中國大陸及臺灣地區(qū)的濕 電子化學(xué)品在世界市場的份額在逐漸提高。
（2）我國濕電子化學(xué)品發(fā)展歷史 我國濕電子化學(xué)品發(fā)展整體可分為三個階段。
①初期發(fā)展階段（20 世紀(jì) 70 年代中期至 21 世紀(jì)初） 20 世紀(jì) 70 年代中期，我國濕電子化學(xué)品剛起步，技術(shù)水平、生產(chǎn)能力與國 際上大型濕電子化學(xué)品生產(chǎn)企業(yè)相差甚遠(yuǎn)。隨著國家將超凈高純試劑的研發(fā)列入 重點(diǎn)科技攻關(guān)計(jì)劃，國內(nèi)企業(yè)紛紛加入濕電子化學(xué)品行業(yè)。該階段，行業(yè)整體發(fā)展緩慢，超凈高純電子化學(xué)品產(chǎn)量遠(yuǎn)不能滿足國內(nèi)生產(chǎn)需求。
②規(guī)?；l(fā)展階段（2006 年-2009 年） 2005 年以來，國家加強(qiáng)了化學(xué)試劑生產(chǎn)企業(yè)管理，陸續(xù)出臺了一系列監(jiān)管 法律法規(guī)，行業(yè)整體規(guī)范性得到極大的提升，也為行業(yè)快速發(fā)展打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。我國華東地區(qū)的濕電子化學(xué)品生產(chǎn)規(guī)模得到快速發(fā)展，行業(yè)內(nèi)很多企業(yè)掌握了 SEMI G1、G2 等級化學(xué)試劑的生產(chǎn)技術(shù)，少數(shù)企業(yè)具備了 SEMI G2 等級化學(xué) 試劑規(guī)?；a(chǎn)的能力，部分產(chǎn)品關(guān)鍵指標(biāo)已達(dá)到 SEMI G3 的水平，并在相應(yīng) 領(lǐng)域替代進(jìn)口。發(fā)行人主打產(chǎn)品 TMAH 顯影液就是國產(chǎn)替代進(jìn)口的典型案例。隨著下游需求的擴(kuò)張，濕電子化學(xué)品行業(yè)轉(zhuǎn)向規(guī)?；l(fā)展階段。
③快速發(fā)展階段（2010 年以后） 2010 年以后，我國顯示面板、半導(dǎo)體、太陽能電池等新興產(chǎn)業(yè)得到快速發(fā) 展。濕電子化學(xué)品的生產(chǎn)、檢測、包裝、技術(shù)服務(wù)等水平已基本達(dá)到滿足顯示面 板、太陽能等產(chǎn)業(yè)的需求，需求和供給水平均得到極大的提升，行業(yè)發(fā)展形勢良好。在此階段，少數(shù)企業(yè)已掌握部分品類 SEMI G4（如發(fā)行人的 TMAH 顯影液、 晶瑞股份的雙氧水等）的生產(chǎn)技術(shù)，并向著更高端的產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)突破，相關(guān)產(chǎn)品在半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用也得到快速發(fā)展，濕電子化學(xué)品進(jìn)入快速發(fā)展階段。
2、行業(yè)發(fā)展情況
（1）全球濕電子化學(xué)品發(fā)展情況 隨著半導(dǎo)體、顯示面板、太陽能電池等下游產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，濕電子化學(xué)品發(fā) 展非常迅速。2018 年，全球濕電子化學(xué)品整體市場規(guī)模約 52.65 億美元，三大 市場應(yīng)用量達(dá)到 307 萬噸，其中，半導(dǎo)體市場應(yīng)用量約 132 萬噸，顯示面板市 場應(yīng)用量約 101 萬噸，太陽能電池領(lǐng)域應(yīng)用量達(dá)到 74 萬噸。預(yù)計(jì)到 2020 年， 全球濕電子化學(xué)品整體市場規(guī)模將達(dá)到 58.50 億美元，在全世界三大領(lǐng)域應(yīng)用量 達(dá)到 388 萬噸，復(fù)合增長率約 12.42%。
（2）我國濕電子化學(xué)品發(fā)展情況
改革開放以來，我國經(jīng)濟(jì)飛速發(fā)展，居民生活水平不斷提高。消費(fèi)升級促使 半導(dǎo)體、顯示面板等行業(yè)快速發(fā)展。同時，隨著國家對環(huán)保的日益關(guān)注，太陽能 等清潔能源領(lǐng)域亦發(fā)展迅速。下游行業(yè)的快速發(fā)展，為濕電子化學(xué)品行業(yè)帶來了 機(jī)遇，整個行業(yè)近年來也迅速發(fā)展。我國濕電子化學(xué)品產(chǎn)量由 2012 年的 18.70 萬噸增加至 2018 年的 49.50 萬噸，年均復(fù)合增長率 17.61%。
世界濕電子化學(xué)品的市場格局大致可分為三塊：
歐美傳統(tǒng)濕電子化學(xué)品企業(yè)占據(jù)約 33%的市場份額，代表企業(yè)有德國巴斯 夫公司、美國亞什蘭集團(tuán)、德國 E.Merck 公司、美國霍尼韋爾公司等。這些老 牌化工企業(yè)擁有極強(qiáng)的技術(shù)優(yōu)勢，產(chǎn)品等級可達(dá)到 SEMI G4 及以上級別，與半 導(dǎo)體制造業(yè)發(fā)展幾乎保持同一步調(diào)。
第二塊市場主要由日本的十家左右濕電子化學(xué)品企業(yè)所占據(jù)，合計(jì)約占27% 市場份額。日本化工行業(yè)發(fā)展晚于歐美，但進(jìn)步非?？欤浼夹g(shù)水平與歐美企業(yè) 已達(dá)到同一水平。目前，濕電子化學(xué)品行業(yè)主要由歐美企業(yè)和日本企業(yè)主導(dǎo)，高 端市場基本也由該部分企業(yè)占據(jù)。
第三塊市場則是韓國、中國大陸及臺灣地區(qū)的濕電子化學(xué)品市場所占領(lǐng)，約 占 38%的市場份額。其中韓國、臺灣企業(yè)在生產(chǎn)技術(shù)上具有一定優(yōu)勢，在高端市場領(lǐng)域與歐美、日本企業(yè)相比也有一定的競爭力。中國大陸濕電子化學(xué)品企業(yè) 距世界整體水平還有一定距離，近年來，包括格林達(dá)在內(nèi)的濕電子化學(xué)品企業(yè)持 續(xù)技術(shù)創(chuàng)新，在個別領(lǐng)域已接近國際領(lǐng)先水平。
（2）我國濕電子化學(xué)品發(fā)展歷史
我國濕電子化學(xué)品發(fā)展整體可分為三個階段。
①初期發(fā)展階段（20 世紀(jì) 70 年代中期至 21 世紀(jì)初） 20 世紀(jì) 70 年代中期，我國濕電子化學(xué)品剛起步，技術(shù)水平、生產(chǎn)能力與國 際上大型濕電子化學(xué)品生產(chǎn)企業(yè)相差甚遠(yuǎn)。隨著國家將超凈高純試劑的研發(fā)列入 重點(diǎn)科技攻關(guān)計(jì)劃，國內(nèi)企業(yè)紛紛加入濕電子化學(xué)品行業(yè)。該階段，行業(yè)整體發(fā) 展緩慢，超凈高純電子化學(xué)品產(chǎn)量遠(yuǎn)不能滿足國內(nèi)生產(chǎn)需求。
②規(guī)?；l(fā)展階段（2006 年-2009 年） 2005 年以來，國家加強(qiáng)了化學(xué)試劑生產(chǎn)企業(yè)管理，陸續(xù)出臺了一系列監(jiān)管 法律法規(guī)，行業(yè)整體規(guī)范性得到極大的提升，也為行業(yè)快速發(fā)展打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。我國華東地區(qū)的濕電子化學(xué)品生產(chǎn)規(guī)模得到快速發(fā)展，行業(yè)內(nèi)很多企業(yè)掌握了 SEMI G1、G2 等級化學(xué)試劑的生產(chǎn)技術(shù)，少數(shù)企業(yè)具備了 SEMI G2 等級化學(xué) 試劑規(guī)?；a(chǎn)的能力，部分產(chǎn)品關(guān)鍵指標(biāo)已達(dá)到 SEMI G3 的水平，并在相應(yīng) 領(lǐng)域替代進(jìn)口。發(fā)行人主打產(chǎn)品 TMAH 顯影液就是國產(chǎn)替代進(jìn)口的典型案例。隨著下游需求的擴(kuò)張，濕電子化學(xué)品行業(yè)轉(zhuǎn)向規(guī)?；l(fā)展階段。
③快速發(fā)展階段（2010 年以后） 2010 年以后，我國顯示面板、半導(dǎo)體、太陽能電池等新興產(chǎn)業(yè)得到快速發(fā) 展。濕電子化學(xué)品的生產(chǎn)、檢測、包裝、技術(shù)服務(wù)等水平已基本達(dá)到滿足顯示面 板、太陽能等產(chǎn)業(yè)的需求，需求和供給水平均得到極大的提升，行業(yè)發(fā)展形勢良 好。在此階段，少數(shù)企業(yè)已掌握部分品類 SEMI G4（如格林達(dá)的 TMAH 顯影液、 晶瑞股份的雙氧水等）的生產(chǎn)技術(shù)，并向著更高端的產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)突破，相關(guān)產(chǎn) 品在半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用也得到快速發(fā)展，濕電子化學(xué)品進(jìn)入快速發(fā)展階段。
市場競爭
由于我國濕電子化學(xué)品行業(yè)起步較晚，技術(shù)水平與世界領(lǐng)先水平有一定的距 離。國內(nèi)競爭水平大致可分為兩塊，高端應(yīng)用領(lǐng)域競爭與低端應(yīng)用領(lǐng)域競爭兩部分。在低端濕電子化學(xué)品應(yīng)用領(lǐng)域（太陽能電池、分立器件等），國內(nèi)較多企業(yè)均已掌握相關(guān)生產(chǎn)技術(shù)，競爭較為激烈，參與者也基本是國內(nèi)的濕電子化學(xué)品生 產(chǎn)企業(yè)。例如太陽能領(lǐng)域濕電子化學(xué)品基本由國內(nèi)企業(yè)供應(yīng)，內(nèi)資企業(yè)在低代線 面板用濕電子化學(xué)品市場中占有率超過 80%。在高端濕電子化學(xué)應(yīng)用領(lǐng)域，外資企業(yè)占據(jù)大部分市場。國內(nèi)具備相應(yīng)技術(shù) 水平的企業(yè)將直接面對外資企業(yè)的競爭。由于具備本土化生產(chǎn)、性價比高、供應(yīng) 穩(wěn)定的優(yōu)勢，不少國內(nèi)企業(yè)從外資企業(yè)手中搶占了部分市場，例如格林達(dá)生產(chǎn)的 TMAH 顯影液實(shí)現(xiàn)了替代進(jìn)口。整體來看，國內(nèi)企業(yè)如能在研發(fā)、生產(chǎn)技術(shù)上有 所突破，半導(dǎo)體、新型顯示面板等領(lǐng)域具有巨大的替代進(jìn)口空間。
隨著半導(dǎo)體、顯示面板、太陽能電池等下游產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，濕電子化學(xué)品發(fā) 展非常迅速。2018 年，全球濕電子化學(xué)品整體市場規(guī)模約 52.65 億美元，三大 市場應(yīng)用量達(dá)到 307 萬噸，其中，半導(dǎo)體市場應(yīng)用量約 132 萬噸，顯示面板市 場應(yīng)用量約 101 萬噸，太陽能電池領(lǐng)域應(yīng)用量達(dá)到 74 萬噸。預(yù)計(jì)到 2020 年， 全球濕電子化學(xué)品整體市場規(guī)模將達(dá)到 58.50 億美元，在全世界三大領(lǐng)域應(yīng)用量 達(dá)到 388 萬噸，復(fù)合增長率約 12.42%。
