企業(yè)動態(tài)_中國無機鹽工業(yè)協(xié)會

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熱烈祝賀多氟多“磷肥副產氟硅酸生產超純電子級氫氟酸關鍵技術及裝備”項目順利通過石化聯(lián)合會高水平成果鑒定

發(fā)布時間：2023-04-26 來源：多氟多分享到：

鑒定委員會聽取董事長李世江的工作報告和董事楊華春的研究報告，審閱了相關資料。經質詢和討論，出具鑒定意見：磷肥副產氟硅酸生產超純電子級氫氟酸產業(yè)化關鍵技術及裝備整體達到國際先進水平，其中：氟硅酸制工業(yè)無水氟化氫聯(lián)產高品質白炭黑技術部分達到國際領先水平。

超純電子級氫氟酸作為芯片制造行業(yè)不可替代的關鍵電子化學品，其關鍵技術和核心裝備被德日等少數化工企業(yè)掌握并長期壟斷，嚴重制約著我國芯片產業(yè)的健康可持續(xù)發(fā)展，是亟待攻克的“卡脖子”技術。面對國家重大戰(zhàn)略需求，多氟多一直以來，堅持科技創(chuàng)新，致力于解決國家“卡脖子”技術進行研發(fā)。經過持續(xù)攻關，自主開發(fā)了以磷肥副產氟硅酸為原料生產工業(yè)無水氟化氫的氟硅酸—氨解—熱解循環(huán)耦合工藝，構建氨、氟化鈉的閉路循環(huán)體系；開發(fā)了氟氣預氧化砷—反應精餾—多級膜過濾純化生產超純電子級氫氟酸工藝體系，從工藝、裝備、環(huán)境、質量控制等方面突破了痕量雜質脫除關鍵技術；建成了首套磷肥副產氟硅酸生產萬噸級超純電子級氫氟酸聯(lián)產高品質白炭黑生產裝置。

本項目利用磷肥副產氟硅酸生產超純電子級氫氟酸，緩解了氫氟酸對螢石資源的依賴，解決了磷肥生產過程氟污染難題，推動了氟化工與磷化工行業(yè)健康可持續(xù)高質量發(fā)展。

超純電子級氫氟酸產品經第三方單位檢測，優(yōu)于SEMI G5級標準。已經成功應用于國內外高端芯片制造企業(yè)，進入了韓國三星和LG供應體系，成為臺積電在中國大陸唯一的電子級氫氟酸合格供應商，成功實現(xiàn)進口替代，有力支撐了我國電子材料和芯片行業(yè)的發(fā)展。通過項目實施，實現(xiàn)了工藝綠色化、技術先進化、產品高端化目標。

項目獲得授權專利23項，制定了《工業(yè)無水氟化氫》、《工業(yè)高純氫氟酸》等6項國家與行業(yè)標準，承擔了國家產業(yè)振興和技術改造項目、國家綠色低碳技術攻關項目、國家產業(yè)基礎再造工程等重點專項6項，成為無機氟新材料領域的典范。

與會專家認為此次項目鑒定組織嚴謹，鑒定內容準備充分，匯報條理清晰，項目實施意義重大。并對項目技術路線、創(chuàng)新點、技術指標等方面給予良好的建議與意見，為下一步高質量申報科學技術獎打下基礎。

會議最后，董事長表示，多年來，多氟多圍繞國家戰(zhàn)略發(fā)展方向，瞄準“卡脖子”難題，先后承擔了23個國家級項目，下一步，我們將不負所望、奮發(fā)前行，在低品位資源高值高效利用和打造循環(huán)產業(yè)鏈方面給國家當好試點，闖出一條綠色可持續(xù)發(fā)展的“新路子”，助力民族工業(yè)高質量發(fā)展。

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