4月23日，多氟多新材料股份有限公司開發(fā)完成的“磷肥副產氟硅酸生產超純電子級氫氟酸（HF）關鍵技術及裝備”項目在北京通過了由中國石油和化學工業(yè)聯(lián)合會組織的科技成果鑒定。
由中國科學院院士彭孝軍、清華大學教授翁端、天津大學教授李鑫鋼、北京化工大學教授李群生等組成的鑒定專家組一致認為，該項技術成果整體達到國際先進水平，其中氟硅酸制工業(yè)無水氟化氫聯(lián)產高品質白炭黑技術達到國際領先水平。
超純電子級氫氟酸作為芯片制造行業(yè)不可替代的關鍵電子化學品，其關鍵技術和核心裝備被國外少數(shù)化工企業(yè)掌握并長期壟斷，嚴重制約著我國芯片產業(yè)的健康可持續(xù)發(fā)展，是亟待攻克的“卡脖子”技術。據(jù)多氟多董事長李世江介紹，該項目利用磷肥副產氟硅酸生產超純電子級氫氟酸，緩解了氫氟酸對螢石資源的依賴，解決了磷肥生產過程氟污染難題，推動了氟化工與磷化工行業(yè)健康可持續(xù)高質量發(fā)展。
多氟多董事楊華春表示，多氟多堅持科技創(chuàng)新，致力于解決國家“卡脖子”技術進行研發(fā)。經過持續(xù)攻關，多氟多自主開發(fā)了以磷肥副產氟硅酸為原料生產工業(yè)無水氟化氫的氟硅酸—氨解—熱解循環(huán)耦合工藝，構建氨、氟化鈉的閉路循環(huán)體系；開發(fā)了氟氣預氧化砷—反應精餾—多級膜過濾純化生產超純電子級氫氟酸工藝體系，從工藝、裝備、環(huán)境、質量控制等方面突破了痕量雜質脫除關鍵技術；建成了首套磷肥副產氟硅酸生產萬噸級超純電子級氫氟酸聯(lián)產高品質白炭黑生產裝置。據(jù)介紹，超純電子級氫氟酸產品經第三方單位檢測，優(yōu)于SEMI G5級標準。產品已經成功應用于國內外高端芯片制造企業(yè)，進入了韓國三星和LG供應體系，成為臺積電在中國大陸唯一的電子級氫氟酸合格供應商，支撐了我國電子材料和芯片行業(yè)的發(fā)展。此外，該項目還實現(xiàn)了工藝綠色化、技術先進化、產品高端化目標。
多氟多在項目開發(fā)過程中，獲得專利授權23項，編制《工業(yè)無水氟化氫》《工業(yè)高純氫氟酸》等6項國家或行業(yè)標準，承擔國家產業(yè)振興和技術改造項目、國家綠色低碳技術攻關項目、國家產業(yè)基礎再造工程等重點專項6項，成為無機氟新材料領域的典范。李世江表示，多年來，多氟多圍繞國家戰(zhàn)略發(fā)展方向，瞄準“卡脖子”難題，先后承擔了23個國家級項目。下一步，多氟多將不負所望、奮發(fā)前行，在低品位資源高值高效利用和打造循環(huán)產業(yè)鏈方面給國家當好試點，闖出一條綠色可持續(xù)發(fā)展的“新路子”，助力民族工業(yè)高質量發(fā)展。（陳菲 危麗瓊）