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又來15萬噸/年!電子級氫氟酸掀起擴(kuò)產(chǎn)熱潮!
發(fā)布時間:2023-07-26 來源: 國化新材料研究院團(tuán)隊 氟化工 2     分享到:

四川永晶新材料有限公司擬在沿灘高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)新材料產(chǎn)業(yè)園投資50000萬元,建設(shè)年產(chǎn)15萬噸電子級氫氟酸及0.5萬噸電子級氟化銨溶液生產(chǎn)線。

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電子級氫氟酸是濕電子化學(xué)品中的一種,主要應(yīng)用在集成電路、液晶顯示器、太陽能光伏、LED制造等工藝中。電子級氫氟酸由約51%的高純氟化氫和49%的高純水組成,按照下游用途的不同大致可分為半導(dǎo)體級氫氟酸和光伏級氫氟酸,其中半導(dǎo)體級氫氟酸主要應(yīng)用在集成電路、液晶顯示、半導(dǎo)體領(lǐng)域,而光伏級氫氟酸主要應(yīng)用在光伏太陽能電池領(lǐng)域,用于表面清洗、去除氧化物。

電子級氫氟酸可被分為EL、UP、UP-S、UP-SS、UP-SSS等級別,其中UP-SSS級別(相當(dāng)于SEMI G5質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn),金屬雜質(zhì)要求≤10ppt)的氫氟酸純度最高,是12寸晶圓及更高規(guī)格的電子半導(dǎo)體產(chǎn)品制造環(huán)節(jié)必須用到的關(guān)鍵材料。

據(jù)不完全統(tǒng)計,我國電子級氫氟酸生產(chǎn)企業(yè)約十幾家,產(chǎn)品級別集中在UP-S及以下,能夠達(dá)到半導(dǎo)體所用G5級的企業(yè)僅有幾家,其中已投產(chǎn)的主要是多氟多、湖北興力電子、中巨芯、濱化股份。

多氟多目前擁有電子級氫氟酸產(chǎn)能5萬噸/年,其中G5級別為1萬噸/年,目前在建3萬噸/年產(chǎn)能(UPSSS),計劃2023年建成投產(chǎn)。

濱化股份的電子級氫氟酸項目于2018年7月開始試生產(chǎn),產(chǎn)品達(dá)到G5等級要求。根據(jù)2021年年報,濱化股份電子級氫氟酸產(chǎn)能為6000噸/年。

湖北興力電子是興發(fā)集團(tuán)成員企業(yè),引進(jìn)臺灣僑力公司電子級氫氟酸等技術(shù),在園區(qū)建設(shè)3萬噸/年電子級氫氟酸項目,該項目一期于2021年上半年投產(chǎn),產(chǎn)能為1.5萬噸/年,產(chǎn)品可以達(dá)到G5級別,已通過國內(nèi)外部分高端市場客戶的測試,實(shí)現(xiàn)批量供應(yīng)。

中巨芯是巨化股份旗下公司,其3萬噸/年ppt電子級氫氟酸擴(kuò)建裝置于2022年順利投料試車,產(chǎn)品達(dá)到G5級別。

近些年,隨著我國半導(dǎo)體與光伏行業(yè)步入高速發(fā)展期,電子級氫氟酸需求與日俱增,在此背景下,國內(nèi)企業(yè)紛紛入局電子級氫氟酸,掀起了擴(kuò)產(chǎn)熱潮!
近幾年部分電子級氫氟酸項目動態(tài)

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